緩解企業(yè)用水問(wèn)題 實(shí)現(xiàn)研磨廢水有效處理
電子信息業(yè)是一項(xiàng)前景非常廣闊的新興產(chǎn)業(yè),被我國(guó)譽(yù)為“朝陽(yáng)產(chǎn)業(yè)”。在晶棒、晶圓制造過(guò)程中,需要經(jīng)過(guò)切割、研磨、劃片、減薄、化學(xué)研磨平坦化(CMP)等工藝,產(chǎn)品經(jīng)過(guò)清洗后會(huì)產(chǎn)生大量研磨廢水。
不同于一般工業(yè)廢水,研磨廢水是一種高濃度的無(wú)機(jī)廢水,其主要污染物是粒徑極小且不易沉降的穩(wěn)定懸浮顆粒,所述清洗廢水所含的污染物濃度較低,COD質(zhì)量濃度110~150mg/L,水量較大,水質(zhì)呈弱堿性,生成能力差。因?yàn)檠心ブ圃旃に囀请娮悠髽I(yè)生產(chǎn)的重要環(huán)節(jié),因此研磨廢水的處理成為電子企業(yè)必須面對(duì)的一個(gè)難題。
萊特萊德根據(jù)研磨廢水的特點(diǎn),合理制定處理工藝,在系統(tǒng)預(yù)處理部分結(jié)合安拜芮特種藥劑,以提高PAC和PAM的絮凝效果,有效去除水中少量懸浮物和不溶性硅。合理的預(yù)處理工藝搭配膜法分離系統(tǒng),使后續(xù)膜系統(tǒng)處理效果顯著,減少了后續(xù)膜系統(tǒng)的清洗次數(shù),確保膜系統(tǒng)長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。
工藝流程:
研磨廢水→調(diào)節(jié)池→一體化凈水設(shè)備→MMF過(guò)濾器→UF裝置→反滲透裝置→回用至工藝用水
工藝優(yōu)勢(shì):
1、特種藥劑投加,保證絮凝效果。
2、微絮凝濾膜技術(shù),出水水質(zhì)好。
3、膜系統(tǒng)運(yùn)行穩(wěn)定,運(yùn)行周期長(zhǎng)。
經(jīng)過(guò)系統(tǒng)處理的研磨廢水可以全部回用于車(chē)間的前期清洗工序,不僅降低了工廠(chǎng)廢水對(duì)環(huán)境的污染,而且有效地減少了區(qū)域水資源的利用,緩解企業(yè)用水問(wèn)題。萊特萊德可根據(jù)用戶(hù)要求定制性?xún)r(jià)比更好的研磨廢水處理工藝,從制造到生產(chǎn)確保各工藝環(huán)節(jié)得到有效控制,循環(huán)的生產(chǎn)方式,有效的幫助工業(yè)領(lǐng)域的客戶(hù)提高生產(chǎn)效率、實(shí)現(xiàn)清潔生產(chǎn)和節(jié)能環(huán)保。
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